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| Correlative Microscopy (光・電子相関顕微鏡) |
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Shuttle & Find
－ ミクロとナノ、色情報とマテリアルコントラストの架け橋 － |
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“Shuttle & Find” は、光学顕微鏡と走査型電子顕微鏡(SEM: Scanning Electron Microscopy)で同じサンプル位置を迅速かつ簡単に観察するためのシステムです。
走査型電子顕微鏡は分解能が高くEDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)などの拡張によって元素分析にも対応します。しかし、観察視野を広くすればするほど収差が大きくなったり、色情報を持ちえないので観察部位を特定するのが大変だったり、サンプルの準備に手間がかかるなどのデメリットもあります。一方、光学顕微鏡は分解能ではSEMには劣りますが、明視野、暗視野、偏光、蛍光をはじめとする多彩な照明方法から人間に認識しやすい色情報といった大きなメリットをもたらします。
"Shuttle & Find" は光学顕微鏡ベースのデジタルイメージングシステムであるAxioVisionをベースに、それぞれの装置のメリットを生かし、低倍の広い視野で色情報を基に検査対象部位を迅速に認識し、同じ座標位置を簡単にそして確実にSEMで分析をするためのソリューションです。光学顕微鏡でしか得られない情報とSEMでしか得られない情報AxioVisionの多彩なオプションモジュールを使用する事も可能です。
専用の試料ホルダにセットしたサンプルを光学顕微鏡で観察します。専用の試料ホルダを使用した場合は、ステージのキャリブレーションがセミオートで行えます。つぎに、観察視野の画像を取得し、実際にSEMによる解析が必要な部位にROI(関心領域)を設定します。サンプルをSEMにセットし、セミオートのキャリブレーションを行います。キャリブレーション後に光学顕微鏡で撮影した画像ファイルを呼び込むと同じ視野がSEM側で表示されます。
それぞれのシステムで撮影した画像は、AxioVisionで重ね合わせ表示が可能です。 | |
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